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ATM-240L
ATM-240L 用于产生高浓度 PSL 小球气溶胶进行设计研发。 在半导体和航空航天行业中的高效过滤器的测试中,不能采 用常见的油性气溶胶物质(DEHS、PAO 等),即使很小的量也会 存在滤材中或者排出从而导致对产品造成损伤。
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仪器应用
仪器规格参数
l 产生示踪粒子
l 测试 HEPA 和 ULPA 过滤器效率
l 测试大型洁净间 VDI2083、DIN EN ISO14644
l 产生 PSL 小球